トンネルオーブン
基板は銅めっき後、フラッシュエッチング、現像後のベーキング装置に応用
トンネルオーブン
ICサブストレート、ガラス基板/ガラスコア（TGV）等
特点と優勢
- 三面は挟持方式を採用し、反りの発生を最小限に抑える
- ステップ式駆動システム、オーブン内に異物の発生を最大限に避ける
- 治具バネの挟持力のリアルタイム監視
- IR硬化、UV硬化
- 温度制御±2℃、高効率安定、乾燥均一性が高い
技術仕様
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寸法 |
410*510~513*623mm · 制作可能 |
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厚み |
0.035 ~2.0mm |
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生産能力 |
≤ 17s/枚 |
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加工重量 |
≤ 2kg |
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操作温度 |
≤ 180℃±3℃/ 60min |
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ヒータ配管 |
PIN Heater(60Kw, 186Kw) |
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UVランプ |
メタルハライドランプ |
| UVエネルギー | 2000mj / cm² |
